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センサーデバイス

Japanese (JP)
You are here:   Homeセンサーマスフローコントローラーデジタル300 シリーズHFM-D-300A / HFC-D-302A

HFM-D-300A / HFC-D-302A

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すべての金属、高速応答、タイトな精度! マスフロー技術は、信頼性、反復可能、正確なガス流量測定を提供します。


HFM-D-300A / HFC-D-302A質量流量計は、0-5 sccmから0-25 slmの流量範囲を持ちます。 すべての金属シールを使用し、アナログおよびデジタル出力を提供し、ステンレス鋼で作られています。 Windowsベースのソフトウェアインターフェイスを使用して、簡単で使いやすいデジタル通信。


センサ、バルブ、オーバーフローの自己診断機能がデジタル機能に含まれています。 また、バルブが閉じられたときを検出して自動的にゼロをリセットするオートゼロ機能があります。 これらの質量流量計およびコントローラは、異なる範囲およびガスの最大10の較正を格納することができる。 もう1つの機能は、ユーザが設定した条件でガスの使用状況を監視するためのトータライザ内蔵です。

 


± (0.5% of reading + 0.2% of full scale) Accuracy

 

アプリケーションと産業

 

漏洩検査

薄膜蒸着

高純度ガス供給

熱火炎スプレー

ガスブレンド

製薬プロセス

 

HFM-D-300A Meter

HFC-D-302A Controller

​Range

0 - 5 sccm to 0 - 25 slm (N2)

​0 - 5 sccm to 0 - 25 slm (N2)

Accuracy

+ (0.5% of reading + 0.2% of full scale)

+ (0.5% of reading + 0.2% of full scale)

​Repeatability

+ 0.15% of F.S.

+ 0.15% of F.S.

Maximum Working Pressure

500 PSIG (Optional 1000 PSIG)

​​500 PSIG (Optional 1000 PSIG)

Settling Time

Typically <1 seconds

​Typically <1 - 2 seconds

Analog I/O (Standard)

​​0 - 5 VDC

​​0 - 5 VDC

Analog I/O (Optional)

​​0 - 10 VDC, 0 - 20 mA, 4 - 20 mA

​​​​​0 - 10 VDC, 0 - 20 mA, 4 - 20 mA

Digital I/O (Standard)

​RS-232, RS-485

​​RS-232, RS-485

Analog Connector

15-pin subminiature D

​15-pin subminiature D

​Digital Connector

Dual RJ-12

Dual RJ-12

Power Requirements

​​11 - 36 VDC @ 3.1 Watt (max), Unipolar or Bipolar (e.g. +15 VDC, +12 VDC)

​​​11 - 36 VDC @ 6.7 Watt (max), Unipolar or Bipolar (e.g. +15 VDC, +12 VDC)

Wetted Materials

​316L SS, Nickel 200, 304 SS, 302 SS

​​316L SS, Nickel 200, 302 SS, 304 SS, Kalrez® (Valve Seat)

 

タイタンテクノロジーズ株式会社

〒116-0003 東京都荒川区南千住8丁目5番7号 白鬚西R&Dセンター